ＩＴＯ蚀刻电著法又称电著/微影法，是彩色滤光片产品制造工艺技术４种方法中最具潜力的制作工艺。他具有以下优点：1.电著物体没有体积、形状、几何结构之限制；2.厚度均匀；3.经由电压、电流控制即可有效控制电著膜之厚度；4.适合自动化、效率高；5.电著材料充分被利用、不浪费；6.被电著物不受限制，一条生产线可进行多种产品之电著。

本文将详细介绍了这一工艺技术，全文分为以下章节：

一、前言......从另一角度看，为了降低成本，玻璃基板大面积化已成为必然的趋势（图四），当玻璃基板大过５００mm×４００mm时，传统以旋转涂布法，涂布彩色光阻之颜料分散法，便将面临涂布机的加工极限，且涂布时材料损失会更高。此时ＩＴＯ蚀刻电著法的优点就显现出来。因为电著法几乎没有玻璃基板面积太大之限制，同时画素之厚度容易控制，整体平坦度佳是其无法抗拒的优点（见图五）。

二、ＩＴＯ蚀刻电著法原理......电著过程所产生的物理化学现象有电泳（Electrophorese）、电解沈积（electrodeposition）、电解（Electrolysis）、电渗透（Electrosmosis）等，其定义及行为在表三中有详细说明。

三、ＩＴＯ蚀刻电著法彩色滤光片工艺制程说明......１、方法一（参考图九）......2、方法二（参考图十）......3、......。

四、应用

五、结语

附表：一、各种彩色滤光片特性说明

　　　二、典型电著涂料的化学配方

　　　三、电著过程现象说明

　　　四、Nippon Paint与Nippon Printing方法比较

　　　五、电著微影法彩色滤光片应用例

附图：一、ITO层被刻蚀后的玻璃基材

　　　二、ITO像素蚀刻成三角状排列状

　　　三、随着ITO线长，阻抗有所变化

　　　四、基板面积增大、滤光片数目增加，使得单片成本降低的趋势图

　　　五、彩色滤光片平坦度示意图

　　　六、阴阳离子型电著涂料反应式

　　　七、阴阳离子型电著装置

　　　八、阴阳离子电著，被镀物表面化学反应

　　　九、Dai Nippon Printing制程图解说明

　　　十、Nippon Paint制程方法

　　　十一、多阶显影形光阻特性说明

　　　十二、多阶光罩

　　　十三、彩色滤光片透光度光谱图

　　　十四、彩色滤光片平坦度说明