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面向火警器,三菱电线展示GaN材料的光电二极管
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三菱电线工业公司在千叶县幕张Messe举行的"InterOpto 2000"上,展示了使用氮化镓(GaN)材料的光电二极管,这是一种肖特基型光电二极管,所能感应的光线波长为150nm~370nm左右。三菱电线的现场解说员还补充说"波长在150nm以下时,由于测量比较困难,所以无法确认,但该光电二极管是可以感应到150nm以下波长的光线的"。感光部位的直径在0.3mm~6.5mm范围内,这种光电二极管是夏普和尼康以及三重大学共同开发的产品。 |
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该产品有2大用途,其一是用于半导体制造设备--步进移动式曝光装置上所配置的短波长激光的测量,可对应ArF激光或者F2激光。其二是用于火警感应器,现场解说员表示"只要发生火灾,就会发出紫外光,通过测量这些紫外光线便可探测到是否发生了火灾,与以往那种根据烟雾及热量探测火灾的方法相比,无疑可大大提高探测火灾的精度"。具体而言,这款光电二极管主要是瞄准了隧道内所设置的火警感应器这块市场。至于能否用于光盘设备市场,现场说明员解释说"使用氮化镓(GaN)材料的光电二极管其成本难以下降,目前还不能跟使用硅(Si)材料的光电二极管争抢市场"。所以现阶段三菱电线还不会介入该市场,而是静待时机。 工程样品的出厂最快将从2000年10月开始,预计正式产品将从2001年4月开始生产,另外关于日亚化学工业公司所拥有的采用GaN材料制造元件的专利问题,现场解说员强调"本公司进行了详细调查,采用了能够避免引起专利纠纷的制造方法"。
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