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富士通成功开发速度高达1ms的光MEMS交换机元件 |
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【日经BP社报道】 富士通研究所日前成功开发出了交换速度高达1ms的光MEMS交换机元件。该产品为双轴动作的立体交换机元件，输入输出端口数量为80通道。在此之前，可双轴动作的光MEMS交换机存在着交换速度较慢的问题，大约需要花费10ms以上。此次，该公司通过采用梳齿型电极，实现了1ms的切换速度（图1）。采用梳齿型电极的另一优势是，可以将运行电压由原来的200V降低到60V。 光MEMS交换机初步拟定用于该公司正在开发的光交叉连接（Cross Connect）装置，但投入使用的具体日期尚未确定。光交叉连接装置需要具备大规模的输入输出端口，因此，有必要采用双轴动作的立体光MEMS交换机元件。 |
图1：采用梳齿型电极的立体式光MEMS交换机元件 |
图2：两组80面微镜分别排列在基板上 |
此前，也有利用梳齿型电极的光MEMS交换机的提案。这是因为梳齿型电极能够实现较高的动作能力和稳定性。但是，由于梳齿型的结构是通过电极相互咬合来运行，易于出现电极之间发生接触并导致动作不畅的情况。而且，双轴动作也面临着一些困难。此次富士通研究所通过采用称作"V字型"扭杆（Torsion bar），既防止了电极接触，又能够双轴动作。 微镜的可动范围为±5度，光束偏向角为±10度。富士通研究所在光MEMS国际会议"Optical MEMS 2002"（2002年8月20日起在瑞士召开）上发表了此次开发的新产品。 |
