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日立成功开发新一代光盘用母盘曝光设备


【日经BP社报道】日立制作所电力·电机集团的电机部门日前成功开发出了支持使用DUV(深紫外线)激光的新一代光盘的母盘曝光设备,并在4月1日起开始销售。该设备是生产直径和CD及DVD光盘同为12cm的、支持蓝色激光的高密度相变光盘的生产中的关键设备。

母盘加工就是使保护膜曝光的工序:以DUV激光照射涂有保护膜的玻璃母盘,在光盘上形成被称作Pit(凹孔)和Wobble(抖动)的凹槽。新一代光盘的大容量和高密度的实现主要通过如下技术实现:采用DUV激光(将激光波长缩短至257nm)、使用不进行色差补偿的物镜的高精度自动对焦装

 置、激光束光轴校正装置以及具有抗外部干扰的、高稳定性的磨擦驱动式滑动器。

作为选项,该装置还可以进行现有DVD光盘的曝光,目前导入该设备时,可以按现有产品支持的标准进行导入,将来需要时也可以转换到新一代标准。日立方面,今后计划按照已经公开的新一代光盘的各种格式的等级,使用该设备试制光盘,并进行更详细的设备调整。


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