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| 三菱电机等成功开发出266nm固体激光 |
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三菱电机日前宣布已与大阪大学和光学技研合作,成功地开发出了波长266nm的固体激光,并实现了长达50个小时的输出功率20W以上的长时间连续工作。由此,今后有可能应用于印刷电路板的微细穿孔、光纤及半导体的微细加工中。 |
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三菱电机首先通过波长转换元件将半导体激光器激发的全固体红外激光(1064nm)变换成波长为其一半的绿色激光(532nm)。之后,用大阪大学开发的CLBO(CsLiB6O10:硼酸铯锂)结晶将这种绿色激光再转换成波长再减一半的266nm激光。此次开发的关键点是:如何使绿色激光器长时间稳定运行;以及开发出高质量的CLBO结晶和研磨技术。在绿色激光的发生方面,采用了被称为CIDER(Close-coupled Internal Diffusive Exciting Reflector)的半导体激发激光技术。这是一种将半导体激光封闭在扩散反射状的聚光器中,通过封闭在聚光器中的光激发激光晶体的技术。这种方法可以均匀地激发固体结晶,高效率地产生聚光性能良好的红外激光。而且,在产生绿色激光的结晶上配备了共振器,把因热变形而导致的工作性能不良控制在最小限度,因而可以以100W以上的输出功率持续1000个小时产生绿色激光。 在高质量CLBO结晶和研磨技术方面,通过高频搅拌硼和氧的融液,使以这两种成分为核心的结构复杂地结合在一起从而防止了缺陷及产生转移的现象。因而大幅度降低了结晶中的缺陷密度。由于CLBO结晶具有吸湿性而且质地柔软,因而过去在研磨上存在困难,但通过开发出从粗研磨直至最终的研磨都在低湿度下进行的新加工技术,成功地实现了能承受高输出功率绿色激光通过的波长转换元件。 (Nikkei Mechanical) |